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刘璐 科技日报记者 付毅飞

记者12月17日从中电科电子装备集团获悉，该集团下属红太阳光电公司自主研制的国内首台叠舟PECVD设备，近日成功发货。

叠舟PECVD设备。图片来源：中电科电子装备集团

作为光伏电池制备的一大重要工序，常规PECVD镀膜设备的市场竞争日趋激烈，主流设备各方面性能大同小异，急需高产能、低成本、高稳定性、高工艺品质的新设备机型打破市场竞争格局。

红太阳光电基于15年的光伏装备领域经验，以自研PECVD镀膜设备为基础，对设备产能、成本、能耗、稳定性、工艺可靠性等深研一步，跳出传统的单管单层舟设计思路，推出新型大管径高产能叠舟PECVD镀膜设备。

据介绍，该设备打破市面常规设备反应室结构，创新采用双舟叠放设计，单管载片量从768片提升至1368片，反应室的空间利用率从42%提升至50%，单机设备产能提升15%。

编辑：王璠

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